CFT05V1253型美國lesker法蘭真空陶瓷斷裂原因分析
點擊次數：225 更新時間：2025-09-15
美國lesker提供具有用于生產和研究應用程序的機器人轉移的單室沉積系統或群集工具，以及對過程，應用，機械，機械，電氣和軟件工程的廣泛了解。
CFT05V1253型美國lesker法蘭真空陶瓷斷裂原因分析如下：
機械應力集中?
CF法蘭采用金屬靜密封設計，其刀口結構在安裝時可能對陶瓷部件產生局部應力，若陶瓷材料存在微裂紋或厚度不均，易在應力集中處斷裂?。
Lesker法蘭的陶瓷饋通件通常需承受高真空環境（10^-12 mbar）和高溫烘烤（250℃以上），材料熱膨脹系數不匹配會加劇應力?。
?熱沖擊或溫度梯度?
陶瓷材料（如氧化鋁）在快速升溫/降溫時易因熱應力開裂。若真空系統烘烤程序未按規范操作（如升溫速率過快），可能導致陶瓷斷裂?。
?材料缺陷或工藝問題?
陶瓷內部氣孔、雜質或燒結不均勻會降低機械強度，在真空環境下可能引發微裂紋擴展?。
Lesker法蘭的陶瓷部件需滿足超高真空兼容性，若材料質量不達標（如未使用無氧銅密封或高純度陶瓷），斷裂風險增加?
CFT05V1253型美國lesker法蘭真空陶瓷斷裂規格：
除非另有說明，否則下表中列出的所有維度為英寸。
電壓（KVDC）：5
袖子材料：科瓦爾
絕緣材料：氧化鋁
熱范圍（°C）：-55至450
法蘭安裝：DN35CF-DN40CF（OD為2.75）
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